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可制造性设计工具LeDFM
Tool Overview
工具概览
SmartFill：支持基于单元、多图案感知等填充方案，确保设计的密度均匀性
RedundantVia：自动定位并插入冗余过孔，减少制造过程中的潜在问题
Multi-Pattern：支持先进的多图案分解、验证和错误调试功能，确保复杂设计的可制造性
Pattern Matching：提供交互式和自动化的模式捕获、定义和搜索功能

Tool Highlights
工具亮点
  • 一致性
    支持层次化填充技术，显著降低计算复杂度，缩短计算时间，适用于超大规模芯片设计
  • 易用性
    支持区域化填充策略，例如减少高速信号线附近填充，降低寄生电容影响
  • 高效性
    高效匹配引擎支持全芯片扫描，可快速定位大规模设计中的问题
  • 创新性

    支持LELELE、SAQP等先进多重曝光技术，满足先进制程要求

  • 智能分配图形到不同掩膜，最小化颜色冲突，降低制造误差

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